BAG402 中真空至超高真空真空計(jì)

INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG402，測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計(jì)套裝，在低成本、可重復(fù)的工藝過程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。*的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性 和長使用壽命。
益處

測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）

出色的可重復(fù)性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%

過壓檢測(cè)保護(hù)，防止燈絲燒毀

兩根長壽命氧化銥燈絲

發(fā)射電流選擇，降低控制的繁瑣

植入校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的高精準(zhǔn)性，并且易于更換

符合RoHS

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體工藝和傳送腔室的壓強(qiáng)測(cè)量

工業(yè)鍍膜

從低真空到超高真空范圍的普通真空測(cè)量及控制
類型 BAG402

測(cè)量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2)       5×10-10 … 2.7×10-2

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

重復(fù)性 

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓強(qiáng), zui大   bar (absolute)  2

溫度

操作 (環(huán)境)  °C 0 … +50

儲(chǔ)存 °C -20 … +70

法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元    °C 80

供電電壓     +20 … +28

輸出信號(hào)模擬 (4)

輸出信號(hào) V   0 … +10

測(cè)量范圍 log / lin   V   0 … +9

電壓 vs. 壓強(qiáng)    volts per decade    1

錯(cuò)誤信號(hào) V   > +10

負(fù)載阻抗, zui小   k?  10

第二模擬輸出     none

設(shè)點(diǎn)繼電器  

設(shè)定點(diǎn)數(shù)量       none

范圍   

繼電器觸點(diǎn)     

滯后   

觸點(diǎn)額定值     

數(shù)字功能     degas and emission

接口 (數(shù)字) (2)      Diagnosis port

發(fā)射控制     manual

燈絲    two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)

燈絲狀態(tài) / 繼電器    LED / relay

電氣連接     D-Sub, 9-pin, male

電纜長度，zui大值 m (ft.) 100 (330)

暴露于真空中的材料       Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   450 / 710

保護(hù)級(jí)別     IP30
353-600 BAG402 DSUB9 KF25

353-601 BAG402 DSUB9 CF40
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
354-484 備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF

354-485 備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R